在晶圆切割过程中,已经粘住的硅块通过安装板被固定在线性切割机上,被切割成薄片。胶粘剂必须使被切割下的晶圆安全可靠地固定在承载盘上,而在晶圆切割完成之后晶圆要从承载盘上分离,晶圆上的胶粘剂可通过热水或稀酸被完全清除。胶粘剂不会污染清理池和硅块,而是保留在承载盘上。
威格鲁UV胶粘剂也广泛用于晶圆背面研磨,封装切割和晶圆切割,UV粘合剂的强粘合强度节省了成本并且还提高了半导体加工的质量。
1.在浆料线切割和钻石线切割中优异的切割性能。
2.在切割过程中可靠的固定性和极低的硅废品率。
3.简单加工操作。
4.高级工艺安全。
5.可调整的适应生产流程的处理时间和固化时间。
6.在清理过程中没有硅污染。
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